입도 분포에는 양 끝이 있고 역할이 다릅니다. 중간은 표면이 얼마나 빨리 내려오는지를, 상단은 내려올 때 얼마나 자주 손상되는지를 결정합니다. 구매자는 D50을 비교합니다. 적기 쉽기 때문입니다. 수율은 D99와 15 μm 초과 입자 수가 결정합니다.
분포의 양 끝을 함께 읽으십시오
| 항목 | 결정하는 것 | 라인에서 드러나는 방식 |
|---|---|---|
| D50 | 제거율과 도달 가능한 Ra 수준 | 한 단계 미세하면 표면은 좋아지고 사이클 타임은 늘어남 |
| D99 / 초과 입자 수 | 스크래치 발생률 | 20 μm 입자 하나가 커버글라스를 긁음 |
| Dmax | 펌프·밸브·씰의 안전 | 순환 루프에 필요한 여과 등급을 결정 |
| BET와 형상 | 분산성과 현탁성 | 같은 D50에서도 제거율 차이가 보임 |
| CeO₂ / TREO | 절삭의 화학적 구동력 | 가격대와 과에칭 위험을 결정 |
| 불소 함량 | 활성과 에칭 강도 | F가 높으면 빠르지만 유리를 더 빨리 침식 |
| pH | 현탁 안정성과 세정 부담 | 조액 사용과 함께 변하며 제거율도 따라 변함 |
레이저법과 침강법은 일치하지 않습니다
같은 분말을 레이저 회절과 침강법으로 측정하면 D50이 최대 두 배까지 차이 납니다. 방법마다 입자를 가중하는 방식이 다르기 때문입니다. "1.5 μm"로 표기된 두 제품을 비교할 수 없는 가장 흔한 이유입니다. 어떤 방법인지, 부피 기준인지 중량 기준인지 확인하십시오. 당사 표는 등급별 방법을 명시하고 COA에도 다시 기재합니다.
스크래치는 실제로 어디서 오는가
- 분말 내 초과 입자 — 사양서에 적지 않은 꼬리.
- 패드나 배관에서 건조된 슬러리 — 박리되면 50 μm 입자처럼 거동.
- 오염된 물, 또는 등급 교체 후 세척하지 않은 순환 루프.
- 패드 잔해와 손상된 컨디셔너 다이아몬드.
- 취급: 오염된 브러시, 더러운 트레이, 분진 환경에 열린 드럼.
이 순서로 진단하십시오. 시료를 여과해 잔류물을 보고, 스크래치를 SEM으로 관찰해 긁힘인지 매몰 입자인지 확인한 뒤, 신선한 DI수와 빈 패드로 한 번 더 돌립니다. 스크래치가 사라지면 원인은 분말이 아니며 등급을 바꿔도 해결되지 않습니다.
분말인가 연마액인가
연마액은 분말 + 물 + 분산제입니다. 물에 대한 운송비를 지불하는 대신 고정 희석비, 현장 배합 설비 불필요, 순환이 멈추지 않는 한 농도가 변하지 않는 안정성을 얻습니다. 자체 배합 설비가 있는 대량 라인은 보통 분말을 유지하고, 모델 교체가 잦은 자동화 라인은 연마액을 선호합니다. 당사 분말과 연마액은 1:1로 대응하므로 구매 코드를 새로 만들거나 승인 서류를 다시 만들 필요가 없습니다.