粒度分布有两头,两头管的事不一样。中间那段决定表面降得多快,顶端那段决定降下来的时候坏没坏。买家比 D50,因为好写;良率由 D99 和 15 μm 以上的颗粒数决定。
两头都要读
| 参数 | 决定什么 | 为什么会在产线上显形 |
|---|---|---|
| D50 | 去除率与可达 Ra 量级 | 细一档买到表面,付出的是节拍 |
| D99 / 超粒径计数 | 划伤率 | 一颗 20 μm 的颗粒就能划伤盖板玻璃 |
| Dmax | 泵、阀、密封的安全 | 决定循环回路要配几级过滤 |
| BET 与形貌 | 分散性与悬浮性 | 同一 D50,去除率能看出差别 |
| CeO₂ / TREO | 切削的化学驱动力 | 决定价格档与过腐蚀风险 |
| 氟含量 | 活性与腐蚀性 | F 高切得快,也更快侵蚀玻璃 |
| pH | 悬浮稳定性与清洗负担 | 随槽液使用漂移,去除率跟着漂 |
激光法与沉降法不会一致
同一支粉,用激光衍射和用沉降法测,D50 可以差到两倍——因为两种方法对颗粒的加权方式不同。这是「都标 1.5 μm 却不能比」最常见的原因。要问清楚方法和基准:体积分布还是重量分布。我们的表格逐档注明方法,COA 上再写一次。
划伤到底从哪来
- 粉里的超粒径——你没写进规格的那个尾部。
- 抛光垫或管路里干掉的浆料,剥落下来就是 50 μm 的颗粒。
- 水质污染,或换型号后没有冲洗的循环回路。
- 抛光垫碎屑与破损的修整器金刚石。
- 人为环节:脏刷子、脏托盘、在粉尘环境里敞口的桶。
按这个顺序排查:取样过滤看残渣;用 SEM 看划痕是犁沟还是嵌粒;再用新配 DI 水加空白垫跑一遍。如果划痕消失,问题不在粉,换档也换不掉。
粉体还是浆液
浆液 = 粉 + 水 + 分散剂。你为水付运费,换回来的是固定稀释比、现场不用配液设备、以及「只要循环不停浓度就不漂」。产量大、已有配液系统的线通常留在粉体;换型频繁的自动化线通常选浆液。我们粉体与浆液一号对应一号,切换不用新建采购码,也不用重做合格认定。
CeO₂ 不等于 TREO。TREO 是稀土氧化物总量;CeO₂/TREO 比值才是「高铈」与「中铈」的分界,它同时决定价格档与腐蚀行为。只写「纯度 99.9%」别的什么都没有的报价单,没法跟另一份比。